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显影液(Developer)是溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域的一种化学溶剂。 显影液的主要作用是将曝光后的光刻胶(光敏聚合物)中的未固化部分去除,从而在基材上形成所需的图案。 显影液的选择与使用对于光刻质量、工艺良率以及最终产品的性能至关重要。 这一步需要另一种材料: 显影液。 所有光刻胶用的都是一种显影液, 是四甲基氢氧化铵 (简称 TMAH,化学式 (CH3)4NOH )的水溶液,浓度为 2.38wt%,也就是100g水溶液里含有2.38g的的TMAH,基本上都是水。
顯影劑[2] (developing agent,developer)又稱 照相顯影劑 (photographic developer)、 顯像劑[3],是一種将 感光胶片 曝光后形成的不可见潜影显现出肉眼可见影像的 化學品,用於照相機 感光胶片 的處理過程中。 显影剂还原曝光后胶片中潜影部分浅白颜色的 卤化银,将其转化为黑色、细腻的金属 银 微粒 [4]; 这一过程在感光胶片的药膜层内完成。 显影剂只会与胶片上曝光过的卤化银反应,这构成了胶片摄影的基础原理。 一般而言,显影时间越长,胶片中图像的色彩密度越高,冲洗出的负相显得越深。 在显影过程中,显影剂会选择性的还原 胶片 感光药膜中的 卤化银 晶体生产金属 银 微粒。 只有曝光过形成潜影的区域才会给显影剂还原 [5]。 显影:用显影液洗掉变脆的光刻胶,剩下的光刻胶就像 “镂空的电路模板”,精准盖在晶圆上。 4、刻电路, 蚀刻 三液混合染料型显影液,是一种类似 Kodak D-1 和 Ansco 45 的传统焦酚配方,当年被西海岸很多摄影师使用,显影过很多历史上重要的摄影作品,在焦酚药里有着极佳的效果,但是使用难度很大,尤其对温度,摇动和进药方式敏感,使用不好会导致染色不均匀,为大.
根据显影液接触衬底的方式不同,分为浸泡显影、旋喷显影和浸润显影,可根据不同光刻胶厚度等因素来选择。
显影液的成分和配方会根据光刻胶的类型和用途而有所不同,一般包含以下几种主要成分: 1.碱性溶液:显影液中通常含有一种碱性物质,如氢氧化钠、碳酸氢钠等,用于去除未曝光的光刻胶区域。 碱性溶液的浓度和种类需要根据具体的光刻胶类型和厚度进行. 对于正性光刻胶,由于曝光区域生成酸性基团,显影液一般采用微碱性溶液;不同的光刻胶、分辨率、胶厚会选择不同的显影液。 显影是光刻技术的核心工艺环节,通过显影液对曝光后的光刻胶进行选择性溶解,形成三维微结构电路图形。
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